日本芝浦機電shibaura多離子真空計GMi系列

產品名稱: 日本芝浦機電shibaura多離子真空計GMi系列

產品型號:

產品特點: 日本芝浦機電shibaura多離子真空計GMi系列
該產品是一種換能器型多離子規(guī)，可以連接具有不同測量范圍的測頭。
在將常規(guī)方法的多種原理結合到一個外殼中的復雜真空計中，“由于一個探針的故障，必須*更換一個探針"“探針復雜且容易發(fā)生故障"我們經常聽到客戶說“很貴"。
使用這種方法，可以進行寬帶測量，大大降低了運行成本，并支持低環(huán)境負荷。

日本芝浦機電shibaura多離子真空計GMi系列 的詳細介紹

日本芝浦機電shibaura多離子真空計GMi系列

該產品是一種換能器型多離子規(guī)，可以連接具有不同測量范圍的測頭。
在將常規(guī)方法的多種原理結合到一個外殼中的復雜真空計中，“由于一個探針的故障，必須*更換一個探針"“探針復雜且容易發(fā)生故障"我們經常聽到客戶說“很貴"。
使用這種方法，可以進行寬帶測量，大大降低了運行成本，并支持低環(huán)境負荷。

GMi系列的特點

廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 ⁵至5×10 ^-8 Pa）（當同時使用GPM和GAM時）。
可以連接不同測量范圍的探頭，使用
多離子規(guī)可以根據應用選擇探頭。
準確的大氣壓測量
輕松，準確地確認大氣壓（使用GAM時）
支持低環(huán)境負荷由于
僅在必要時可以更換接觸點，因此可以降低運行成本。
配備能檢查異常的LED 的能見度得到改善
易于維護更換探頭
每種模式（組合模式）的
規(guī)格GMi + GPM（離子計+皮拉尼表）
GMi + GPM + GAM（離子計+皮拉尼表+大氣壓傳感器）
測量值輸出信號
壓力為0-10V輸出（對數輸出）
控制輸出信號
設定值3點可輸出（GMi-1）
可以進行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2）
符合
CE標準

用途

用于各種制造設備（例如太陽能電池，FPD，半導體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
確認具有在線式和單晶圓式等多個處理室的各種制造設備的高真空區(qū)域的極限壓力
高真空/超高真空設備壓力測量

日本芝浦機電shibaura多離子真空計GMi系列

規(guī)范

模型		GMi-1	GMi-2
規(guī)范		標準規(guī)格	串行通訊規(guī)格
自適應多離子量規(guī)傳感器		M34（NW16），M35（NW25）
可連接的		傳感器多離子壓力表傳感器：1個皮拉尼壓力表GPM：1個（可選）大氣壓傳感器GAM：1個（可選）
采樣時間		70毫秒4倍移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓DC 0至10 V，對數輸出0.75 V / 1位壓力轉換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P-2）P = 10 ^ {（V-7.25）/ 0.75 + 2} *用于設定點調整也用作輸出電源（僅適用于GMi-1）
更新時間		50毫秒
控制輸入信號		FIL ON / OFF，FIL 1/2，DEGAS ON / OFF以集電極開路輸入，負邏輯運行 * FIL ON / OFF信號的用法因模式而異。	--
控制輸出信號		傳感器錯誤，設定點1/2/3 發(fā)射有效燈絲功率監(jiān)控額定值：24 VMAX，50 mAMAX，飽和電壓1 V	--
串行通訊規(guī)格		--	RS232C / RS485
LED顯示屏		電源/錯誤：電源和錯誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據每種模式而變化） FIL：發(fā)射有效的指示燈
LED顯示屏		SET1：設定點1 LED SET2：設定點2 LED SET3：設定點3 LED	--
發(fā)射電流		1 mA（1×10 ^-3 Pa以下），10 µA
德加斯		電子沖擊解吸方法（電子轟擊）1 mA，330 V
傳感器耐壓		2 x 10 ⁵ Pa（壓力）*法蘭和夾具等的耐壓性必須分開考慮。
傳感器內部容積		34厘米³（M34）
工作溫度極限		10?50℃
工作濕度范圍		15-80％（但是，無凝結）
貯存溫度		-20至65°C（斷電時無結露）
IP防護等級		IP30
電源電壓		20至28 VDC（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時為156 W）
I / O連接器		D-sub15針（M2.6螺絲）
大眾		控制器：約530 g，BA探針（M34）：63 g
外形尺寸W xD x H（mm）		144 x 75 x 62以下（控制器部分）
符合標準		CE認證
選項	電源/錯誤：多離子計傳感器	M34（NW16），M35（NW25）材質：長絲1 lr / Y ₂ O ₃涂層，長絲2 W（鎢）其他Pt C Mo，SUS，W
	皮拉尼規(guī)	SPU
	皮拉尼儀表傳感器	WP-16（NW16）材質：細絲鉑，其他BS / Ni，鍍層，Ni，焊料
	大氣壓傳感器	GAM（NW16）材質：SUS316L
	單元電纜	GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米
	顯示單位	1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源）
	顯示電纜	GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：單個多離子壓力計模式，帶皮拉尼壓力計的組合模式以及帶皮拉尼壓力計和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2 獨立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式
測量壓力范圍	5×10 ^-8?1 ×10 ¹帕	5×10 ^-8?1 ×10 ⁴帕	5×10 ^-8?1 ×10 ⁵帕
測量精度	5×10 ^-8?1 ×10 ¹ Pa±15％	5×10 ^-8至1×10 ³ Pa：±15％ 1×10 ³至3.0×10 ³ Pa：±30％ 3.0×10 ³至1.0×10 ⁴ Pa：不保證精度	5×10 ^-8至1×10 ³ Pa：±15％ 1×10 ³至3.0×10 ³ Pa：±30％ 3.0×10 ³ 至1.0×10 ⁴ Pa：無精度保證 1.0×10 ⁴至1.0× 10 ⁵ Pa：±3％FS （3×10 ³ Pa，參考溫度25°C）
重復性	1 x 10 ^-6至1 x 10 ^-1 Pa：Pa±2％