日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計儀表

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計儀表

產(chǎn)品型號: GPW

產(chǎn)品特點: 日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計儀表
該產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5 x 10 -2 Pa的很大范圍。
此外，該真空計消除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示，并縮小到小的必要功能，從而實現(xiàn)了“成本降低"和“節(jié)省空間"。

日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計儀表 的詳細(xì)介紹

日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計儀表

GPW系列的特點

廣域測量：可以從大氣壓到5×10 ^-2 Pa進(jìn)行廣域測量
節(jié)省布線：通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)節(jié)省布線，節(jié)省空間和節(jié)電。
視野更佳：配備了可以檢查異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式大氣壓調(diào)節(jié)和零點調(diào)節(jié)
可維護(hù)性：易于更換測針
燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料使用具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號：壓力為0至10V的對數(shù)輸出是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
改善的抗沖擊性：具有出色抗沖擊性的設(shè)計結(jié)構(gòu)
控制輸出信號：可以輸出2個設(shè)定點（GPW-1）
串行通訊規(guī)格：可以進(jìn)行RS-232C / RS-485通訊（僅GPW-2）
符合標(biāo)準(zhǔn)：符合CE標(biāo)準(zhǔn)

用

用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行過程控制，例如在線型和單晶片型

規(guī)范

模型		GPW-1	GPW-2
可連接的手寫筆		一
自適應(yīng)手寫筆		SWP-16（NW-16）
測量壓力范圍		5.0 x 10 ^-2至1.0 x 10 ⁵ Pa
測量精度*		1×10 ^-1?1 ××10 ⁴ Pa：±10％ 5.0×10 ^-2?1.0 ×10 ^-1 Pa，1×10 ⁴ Pa?1×10 ⁵ Pa：±20％
重復(fù)性		1×10 ^-1 Pa?1×10 ⁴ Pa：±2％
采樣時間		50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓DC 0-10 V
		壓力指示（對數(shù)輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位
	更新時間	50毫秒
控制輸入??信號		集電極開路輸入，負(fù)邏輯 ADJ調(diào)整（零點調(diào)整，大氣壓調(diào)整）	---
控制輸出信號		集電極開路輸出負(fù)邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯誤信號設(shè)定點1、2	---
監(jiān)控設(shè)定值		設(shè)定點1，2：0至10 V日志輸出	---
串行通訊規(guī)格		---	RS232C / RS485
LED顯示屏		電源/錯誤：電源，錯誤指示燈
LED顯示屏		SET-1：設(shè)定點1 LED SET-2：設(shè)定點2 LED	---
燈絲材料		鉑
工作溫度極限		10-40℃
工作濕度范圍		15-80％（但是，不結(jié)露）
IP防護(hù)等級		IP30（傳感器單元）
安裝姿勢		沒有限制
電源電壓		DC 18 V至30 V，2 W（電源打開時為4.8 W）
輸入/輸出連接器		D-sub15針（M2.6螺釘）
大眾		150克（含SWP-16）
外形尺寸（電源）W xD x H（mm）		70 x 46 x 28
符合標(biāo)準(zhǔn)		CE認(rèn)證