半導(dǎo)體制造小型卡門渦流流量計

半導(dǎo)體制造小型卡門渦流流量計

1. 內(nèi)置溫度傳感器：該系列流量計內(nèi)置溫度傳感器，能夠監(jiān)測液體溫度，從而實現(xiàn)高精度流量測量。這種設(shè)計減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差。
2. 溫度補償功能：FML-300系列通過內(nèi)置在流路內(nèi)的溫度傳感器獲取液體溫度，并根據(jù)檢測到的溫度信息對漩渦頻率進行補償，從而實現(xiàn)了液體溫度變化時的高精度流量測量。
3. 多種液體適用：量程從小流量(F.S.2.5L/min) 到大流量(F.S.250L/min)，能夠?qū)?yīng)多種液體。
4. 無O型圈設(shè)計：接觸液體部位的材質(zhì)均采用New PFA，無O型圈設(shè)計，適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控。
5. 體積小節(jié)省空間：設(shè)計緊湊，節(jié)省安裝空間。
6. 高防水性：防水性相當于IP65等級。
7. 單電源驅(qū)動：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動，方便使用。

1. 內(nèi)置溫度傳感器：該系列流量計內(nèi)置溫度傳感器，能夠監(jiān)測液體溫度，從而實現(xiàn)高精度流量測量。這種設(shè)計減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差。
2. 溫度補償功能：FML-300系列通過內(nèi)置在流路內(nèi)的溫度傳感器獲取液體溫度，并根據(jù)檢測到的溫度信息對漩渦頻率進行補償，從而實現(xiàn)了液體溫度變化時的高精度流量測量。
3. 多種液體適用：量程從小流量(F.S.2.5L/min) 到大流量(F.S.250L/min)，能夠?qū)?yīng)多種液體。
4. 無O型圈設(shè)計：接觸液體部位的材質(zhì)均采用New PFA，無O型圈設(shè)計，適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控。
5. 體積小節(jié)省空間：設(shè)計緊湊，節(jié)省安裝空間。
6. 高防水性：防水性相當于IP65等級。
7. 單電源驅(qū)動：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動，方便使用。