產品資料
低濃度臭氧環(huán)境測量半導體制造用
產品名稱: 低濃度臭氧環(huán)境測量半導體制造用
產品型號: model1200
產品特點: 低濃度臭氧環(huán)境測量半導體制造用測量性能測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。設備設計
低濃度臭氧環(huán)境測量半導體制造用 的詳細介紹
低濃度臭氧環(huán)境測量半導體制造用
低濃度臭氧環(huán)境測量半導體制造用
測量性能
- 測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
- 測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
- 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。
- 精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
- 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。
設備設計
- 樣品流速：1.5至2升/分鐘。
- 測量周期：12秒（標準）。
- 顯示：濃度顯示為LED大寫字母（紅色），信息顯示為綠色小寫字母，兩行顯示。
- 輸出功能：具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口。
環(huán)境適應性
- 工作溫度：0至45°C。
- 工作濕度：10至80%（無冷凝）。
- 溫度補償功能：內置反應池溫度傳感器。
- 壓力補償功能：反應池內內置壓力傳感器。
物理特性
- 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA。
- 外形尺寸：430寬×132高×410深。
- 重量：約10公斤。
適用場景
Model 1200適用于半導體制造等需要精確監(jiān)測低濃度臭氧的場所。
測量性能
- 測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
- 測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
- 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。
- 精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
- 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。
設備設計
- 樣品流速：1.5至2升/分鐘。
- 測量周期：12秒（標準）。
- 顯示：濃度顯示為LED大寫字母（紅色），信息顯示為綠色小寫字母，兩行顯示。
- 輸出功能：具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口。
環(huán)境適應性
- 工作溫度：0至45°C。
- 工作濕度：10至80%（無冷凝）。
- 溫度補償功能：內置反應池溫度傳感器。
- 壓力補償功能：反應池內內置壓力傳感器。
物理特性
- 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA。
- 外形尺寸：430寬×132高×410深。
- 重量：約10公斤。
適用場景
Model 1200適用于半導體制造等需要精確監(jiān)測低濃度臭氧的場所。
相關產品
產品目錄
-
儀器儀表
- 溶解氧測定儀
- 透過率計
- 電源
- 恒溫器
- 蝶閥
- 熔點儀
- 圧力計
- pH計
- 電阻測試儀
- 密封試驗儀
- 余氯測定儀
- 色差儀
- 流速儀
- 抵抗計
- 絕緣電阻計
- 噪聲計
- 深度計
- 記錄儀
- 記錄器
- 溫度儀
- 氣體檢測儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計
- 角度計
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計
- 計量泵
- 尺子測量
- 測量儀
- 密度計
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計
- 濁度計
- 電導率儀
- 鹽分計
- 檢測儀
- 監(jiān)測儀
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- 流速計
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