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產品資料
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半導體膜厚測定用深紫外連續波激光器

產品名稱: 半導體膜厚測定用深紫外連續波激光器
產品型號: CW 213nm
產品特點: 半導體膜厚測定用深紫外連續波激光器
連續波 · 213 nm 深紫外 · 半導體檢測 · 工業級
5-500 mW · ±0.1 % 穩定性 · 真空 ≤1×10?? Pa · 5 年壽命 · 即插即用

半導體膜厚測定用深紫外連續波激光器 的詳細介紹

半導體膜厚測定用深紫外連續波激光器

半導體膜厚測定用深紫外連續波激光器

一、產品定位

  • 半導體檢測工業用:膜厚測定、缺陷掃描、UV-Vis 光譜、反射率
  • 連續波 213 nm:深紫外 DUV,連續波,5-500 mW,±0.1 % 穩定性
  • 工業級:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 ℃,工業級漂移
  • Opt-Oxide CW 213nm:CW 連續波,213 nm,5-500 mW,即插即用

二、核心技術參數(CW 213nm)

表格
復制
項目參數
波長213 nm(深紫外 DUV)
類型連續波(CW)
功率范圍5 – 500 mW(連續可調)
穩定性±0.1 %(1 h,恒溫)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大氣版可選(內置除塵窗)
溫度范圍0 – 180 ℃(全范圍)
真空接口NW16(可轉 NW25/NW40)
電源DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器)
接口FC/SMA905 光纖(真空饋通)
尺寸/重量Φ25×80 mm,0.28 kg
壽命5 年(連續運行)

三、功能亮點

  1. 213 nm 深紫外:DUV 連續波,適合 < 5 nm 超薄膜測定
  2. ±0.1 % 超高穩定性:1 h 漂移 < 0.1 %,膜厚重復性 < 0.01 nm
  3. 5-500 mW 連續可調:5-500 mW 連續可調,適合不同工藝段
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
  5. 0.28 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
  6. 5 年壽命:連續波無磨損,5 年免維護

四、典型應用系統

復制
半導體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│               │激光← CW-213 ← 真空饋通 FC│               │└─ 光譜儀 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa,213 nm 連續照射
  • 光譜儀采集反射光譜,膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、實測數據(半導體驗證)

  • 真空:1×10?? Pa,25 ℃
  • CW-213nm:
    • 功率 100 mW(±0.1 %)
    • 穩定性 ±0.1 %(1 h)
    • 壽命 5 年(連續運行)

六、選型與配件

表格
復制
件號說明
CW-213-VAC真空版(≤1×10?? Pa)
CW-213-AIR大氣版(內置除塵窗)
CW-213-FCFC 光纖接口(真空饋通)
CW-213-DRIVER24 V 驅動器(含)

一、產品定位

  • 半導體檢測工業用:膜厚測定、缺陷掃描、UV-Vis 光譜、反射率
  • 連續波 213 nm:深紫外 DUV,連續波,5-500 mW,±0.1 % 穩定性
  • 工業級:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 ℃,工業級漂移
  • Opt-Oxide CW 213nm:CW 連續波,213 nm,5-500 mW,即插即用

二、核心技術參數(CW 213nm)

表格
復制
項目參數
波長213 nm(深紫外 DUV)
類型連續波(CW)
功率范圍5 – 500 mW(連續可調)
穩定性±0.1 %(1 h,恒溫)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大氣版可選(內置除塵窗)
溫度范圍0 – 180 ℃(全范圍)
真空接口NW16(可轉 NW25/NW40)
電源DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器)
接口FC/SMA905 光纖(真空饋通)
尺寸/重量Φ25×80 mm,0.28 kg
壽命5 年(連續運行)

三、功能亮點

  1. 213 nm 深紫外:DUV 連續波,適合 < 5 nm 超薄膜測定
  2. ±0.1 % 超高穩定性:1 h 漂移 < 0.1 %,膜厚重復性 < 0.01 nm
  3. 5-500 mW 連續可調:5-500 mW 連續可調,適合不同工藝段
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
  5. 0.28 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
  6. 5 年壽命:連續波無磨損,5 年免維護

四、典型應用系統

復制
半導體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│               │激光← CW-213 ← 真空饋通 FC│               │└─ 光譜儀 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa,213 nm 連續照射
  • 光譜儀采集反射光譜,膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、實測數據(半導體驗證)

  • 真空:1×10?? Pa,25 ℃
  • CW-213nm:
    • 功率 100 mW(±0.1 %)
    • 穩定性 ±0.1 %(1 h)
    • 壽命 5 年(連續運行)

六、選型與配件

表格
復制
件號說明
CW-213-VAC真空版(≤1×10?? Pa)
CW-213-AIR大氣版(內置除塵窗)
CW-213-FCFC 光纖接口(真空饋通)
CW-213-DRIVER24 V 驅動器(含)



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