產品資料
簡易型高純度半導體氣體測量用微量分析計
產品名稱: 簡易型高純度半導體氣體測量用微量分析計
產品型號: CRDS
產品特點: 簡易型高純度半導體氣體測量用微量分析計技術路線采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術，通過測量激光在高品質諧振腔內的指數衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學試劑或耗材 。代表機型SPARK 系列免校準、免耗材，生命周期成本低小流量即可高響應，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質適用于高純氣體、半導體特氣、低溫分離裝置等場景 HALO
簡易型高純度半導體氣體測量用微量分析計 的詳細介紹
簡易型高純度半導體氣體測量用微量分析計
簡易型高純度半導體氣體測量用微量分析計
- 技術路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術，通過測量激光在高品質諧振腔內的指數衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學試劑或耗材 。 - 代表機型
- 在 SPARK 基礎上擴展了 NH? 等更多雜質通道，同樣免維護
- 主要面向超高純氣體與半導體工藝
- 免校準、免耗材，生命周期成本低
- 小流量即可高響應，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質
- 適用于高純氣體、半導體特氣、低溫分離裝置等場景
- SPARK 系列
- HALO KA Max 系列
- 性能亮點
- 檢測下限：常見雜質 1 ppb–100 ppt 級
- 免校準、長期零漂移，適合無人值守在線運行
- 接氣部分為 SUS 等耐腐材質，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩定性高
- 技術路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術，通過測量激光在高品質諧振腔內的指數衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學試劑或耗材 。 - 代表機型
- 在 SPARK 基礎上擴展了 NH? 等更多雜質通道，同樣免維護
- 主要面向超高純氣體與半導體工藝
- 免校準、免耗材，生命周期成本低
- 小流量即可高響應，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質
- 適用于高純氣體、半導體特氣、低溫分離裝置等場景
- SPARK 系列
- HALO KA Max 系列
- 性能亮點
- 檢測下限：常見雜質 1 ppb–100 ppt 級
- 免校準、長期零漂移，適合無人值守在線運行
- 接氣部分為 SUS 等耐腐材質，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩定性高
- 典型應用
- 半導體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級監控
- 空分、低溫分離裝置產品質量保證
- 鋼瓶充裝、槽車運輸過程抽檢
- 使用與維護
- 開機即用，無需量程切換、漂移校正或耗材更換
- 結構緊湊，可臺式、19″機架或便攜式安裝；支持模擬/數字輸出，方便接入 DCS
總結：TEKHNE 的 CRDS 分析計以“免校準、免耗材、ppb 級精度"為核心賣點，SPARK 與 HALO KA Max 兩大系列覆蓋了從現場抽檢到半導體超純氣體在線監測的多種需求，是當前痕量水分和氣體雜質檢測的利器。
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