久久久夜色精品亚洲 I 欧美黑粗大 I 黄色录像黄色录像黄色录像黄色录像 I 男女野外震车做爰视频 I 窝窝影院午夜看片 I 99久久婷婷国产综合精品草原 I 三级三级久久三级久久 I a级片网站 I 国产精品久久综合 I 免费av电影网 I 日韩精品免费一区 I 福利电影在线播放 I 国产人成视频在线观看 I 91国产对白刺激 I 日韩成人性视频 I 成人av电影网址 I 一道本在线播放 I 日本精品中文字幕 I 视频免费在线 I 欧美性生话 I 亚洲综合五月 I 性色欲情网站iwww I 一本一道视频 I 国产精品欧美久久久 I 日韩欧美在线网址 I 先锋影音二区 I 欧美日韩国产亚洲沙发 I 狠狠躁夜夜躁人人爽超碰91 I 免费av中文字幕一区二区三区 I 男人猛躁进女人免费视频看n I av免费在线看片 I 91五月婷蜜桃综合 I 亚洲裸男自慰gv网站 I 色久影视 I 色婷婷在线免费观看 I 亚洲日韩国产精品无码av I 亚洲理论视频在线观看 I 久久精品99精品国产香蕉 I 美女让男人捅到爽

產品資料
首頁 >>> 產品中心 >>> 機械設備 >>> 加熱器 >>> S/M/L系列半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

產品名稱: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產品型號: S/M/L系列
產品特點: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點
交換式（Ca

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器 的詳細介紹

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心賣點

  • 交換式（Cartridge）結構：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
  • 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
  • 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

?? 系列規格速覽

表格
復制
系列流量范圍最高出口溫度加熱功率接管口徑全長重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心賣點

  • 交換式（Cartridge）結構：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
  • 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
  • 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

?? 系列規格速覽

表格
復制
系列流量范圍最高出口溫度加熱功率接管口徑全長重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg



產品留言

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

深圳市秋山貿易有限公司版權所有 地址：深圳市龍崗區龍崗街道新生社區新旺路和健云谷2棟B座1002

13823147203
13823147203
在線客服
手機
13823147203

微信同號