半導體水處理在線電導率監視濃度顯示器

半導體水處理在線電導率監視濃度顯示器

1. 測定原理
   紫外吸收法（UV-254 nm），符合 JIS B 7957、US EPA EQOA-0914-003 要求，零點無漂移，無需化學試劑。
2. 量程與精度
• 標準量程：0 – 1.000 ppm（Vol）
• 可選量程：0 – 100 ppm / 0 – 1 000 ppm（EG-3000-H）
• 分辨率：1 ppb（0.001 ppm）
• 線性度：±1 % F.S.
• 重復性：±0.5 % F.S.
• 響應時間：T90 ≤ 30 s（樣氣流量 0.8 L/min）
3. 樣氣條件
• 流量：0.5 – 1.0 L/min（內置泵抽吸）
• 溫度：5 – 45 ℃
• 濕度：＜ 85 %RH（無凝露）
• 壓力：大氣壓 ±10 kPa（可配減壓閥）
4. 顯示與輸出
• 7 英寸彩色觸控，實時數字 + 曲線同屏
• 單位切換：ppm / mg/m3 / ppb
• 接口：USB ×2、RS-485（Modbus-RTU）、4-20 mA、報警接點 ×2
• 數據記錄：內置 8 GB，1 s – 60 min 間隔，CSV 導出
5. 功能特點
• 自動校零：內置臭氧洗滌器，一鍵校零，無需外接零氣
• 自動跨度校準：可選內置臭氧發生器（EG-3000-CAL），5 min 完成 0.8 ppm 跨度標定
• 高低報警：可設兩級閾值，聲光 + 繼電器輸出
• 菜單語言：日/英/中切換
• 臺式/面板兩用：附折疊支架，亦可 96 × 96 mm 面板嵌入
6. 應用示例
• 半導體潔凈室：光刻、清洗工序 O? 殘留監測
• 液晶面板：干法蝕刻后臭氧分解設備效率確認
• 水處理：臭氧接觸池尾氣 0-1 ppm 監控
• 食品/醫療：殺菌室泄露檢測，確保 < 0.1 ppm 人員安全限
7. 維護與耗材
• UV 燈壽命：約 8 000 h（可現場更換）
• 臭氧洗滌器顆粒：每 12 個月更換一次
• 進氣過濾器：每 6 個月更換（可水洗重復使用 2 次）
8. 主機規格
• 尺寸：W 220 × D 280 × H 120 mm，重量 3.2 kg
• 電源：AC 100-240 V 50/60 Hz 40 W
• 防護：IP30（可選 IP54 攜帶箱）