半導(dǎo)體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵半導(dǎo)體工業(yè)用緊湊型空冷干式真空泵

三、功能亮點(diǎn)

1. 3.3 Pa 空冷極限：比同級水環(huán)泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
2. 16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
3. 離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
4. 可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
5. 磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
6. 54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運(yùn)行不擾人

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進(jìn)口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

• 泵進(jìn)口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
• 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（MOCVD 驗證）

• MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
• KTS-60 50 Hz 運(yùn)行：
• 2 min 達(dá)到 20 Pa
• 5 min 極限 3.3 Pa
• 連續(xù) 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
• 噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護(hù)
• 粉塵阱：每月清理一次
• 磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論

三、功能亮點(diǎn)

1. 3.3 Pa 空冷極限：比同級水環(huán)泵極限低 100 倍，適合 MOCVD 前級
2. 16 kg 超輕：比同級水冷泵輕 50 %，可手提移動
3. 離子鍍硬鉻螺桿：耐粉塵、耐冷凝液，壽命 20,000 h
4. 可拆式粉塵阱：5 µm 顆粒在線捕集，30 s 清理
5. 磁耦合零泄漏：Class 100 潔凈室兼容，無油污染
6. 54 dB 靜音：比水冷泵低 12 dB，24 h 運(yùn)行不擾人

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

MOCVD 前級真空┌─ MOCVD 腔體 ─┐│               │進(jìn)口← KTS-60 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

• 泵進(jìn)口接 MOCVD 腔體，3.3 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
• 粉塵過濾器捕集 GaN 微粒，延長泵壽命

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（MOCVD 驗證）

• MOCVD 腔體 100 L，室溫 25 ℃
• KTS-60 50 Hz 運(yùn)行：
• 2 min 達(dá)到 20 Pa
• 5 min 極限 3.3 Pa
• 連續(xù) 8 h 外殼 <45 ℃，無冷卻水
• 噪聲 54 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 螺桿：離子鍍硬鉻+DLC，壽命 20,000 h，免維護(hù)
• 粉塵阱：每月清理一次
• 磁耦合：無磨損，年漂移 < 0.5 %
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論