直結型帶氣體鎮流閥節省空間油旋轉真空泵

直結型帶氣體鎮流閥節省空間油旋轉真空泵

• 半導體/面板小型濺射、蒸鍍設備的粗抽與前級
• 真空干燥箱、冷凍干燥機、離心濃縮儀的真空源
• 分析儀器（SEM、質譜、電子束）前級或無油系統的后備泵
• 汽車部件、LED、鋰電等研發線快速抽真空或氦檢漏前級

• GHP-800B　800 L/min　極限分壓 ≤ 4×10?2 Pa　電機 2.2 kW　重量 ≈ 42 kg
• GHP-1300　1300 L/min　極限分壓 ≤ 4×10?2 Pa　電機 3.7 kW　重量 ≈ 58 kg
• GHP-1300B　1300 L/min　極限分壓 ≤ 4×10?2 Pa　電機 3.7 kW　帶高效油霧過濾器　重量 ≈ 60 kg

1. 每日檢查油位與顏色，若油乳白或黏度下降 > 20%，立即換油。
2. 每 500 h 打開氣體鎮流閥 5 min 進行“自清洗"，排出泵腔殘留可凝物。
3. 每 2000 h 或一年更換油過濾器與油霧分離元件；高水汽場合建議縮短至 1000 h。
4. 保持進氣口潔凈，必要時加裝冷凝阱或吸附阱，防止顆粒/腐蝕性氣體進入泵腔。

• 半導體/面板小型濺射、蒸鍍設備的粗抽與前級
• 真空干燥箱、冷凍干燥機、離心濃縮儀的真空源
• 分析儀器（SEM、質譜、電子束）前級或無油系統的后備泵
• 汽車部件、LED、鋰電等研發線快速抽真空或氦檢漏前級

• GHP-800B　800 L/min　極限分壓 ≤ 4×10?2 Pa　電機 2.2 kW　重量 ≈ 42 kg
• GHP-1300　1300 L/min　極限分壓 ≤ 4×10?2 Pa　電機 3.7 kW　重量 ≈ 58 kg
• GHP-1300B　1300 L/min　極限分壓 ≤ 4×10?2 Pa　電機 3.7 kW　帶高效油霧過濾器　重量 ≈ 60 kg

1. 每日檢查油位與顏色，若油乳白或黏度下降 > 20%，立即換油。
2. 每 500 h 打開氣體鎮流閥 5 min 進行“自清洗"，排出泵腔殘留可凝物。
3. 每 2000 h 或一年更換油過濾器與油霧分離元件；高水汽場合建議縮短至 1000 h。
4. 保持進氣口潔凈，必要時加裝冷凝阱或吸附阱，防止顆粒/腐蝕性氣體進入泵腔。