數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置

產(chǎn)品名稱: 數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置

產(chǎn)品型號(hào): GM系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置
日本 Tokyokeiki（東京計(jì)機(jī)）PMG-1A 是一款高穩(wěn)定性、數(shù)字式、內(nèi)置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體按設(shè)定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續(xù)混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于半導(dǎo)體工藝、燃料電池測試、傳感器校準(zhǔn)、生物發(fā)酵、催化劑評(píng)價(jià) 等需要長時(shí)間穩(wěn)定混合氣的場合

數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置 的詳細(xì)介紹

數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置

日本 Tokyokeiki（東京計(jì)機(jī)）PMG-1A 是一款高穩(wěn)定性、數(shù)字式、內(nèi)置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體按設(shè)定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續(xù)混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于半導(dǎo)體工藝、燃料電池測試、傳感器校準(zhǔn)、生物發(fā)酵、催化劑評(píng)價(jià) 等需要長時(shí)間穩(wěn)定混合氣的場合。

? 產(chǎn)品定位

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	說明
型號(hào)	PMG-1A（Programmable Mixer Gas）
用途	工藝用混合氣在線配制 / 實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)氣發(fā)生
通道數(shù)	2 或 3 路（可擴(kuò)展至 5 路）
控制方式	數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）+ PID 反饋
特點(diǎn)	±0.1 % 混合比、內(nèi)置觸摸屏、RS-485 / 以太網(wǎng)、無脈沖**

?? 核心規(guī)格

表格

復(fù)制

參數(shù)	規(guī)格
混合比范圍	0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %）
混合精度	±0.1 % F.S.（與 MFC 精度疊加）
輸出流量	10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min）
MFC 精度	±1 % S.P.（可選 ±0.5 %）
響應(yīng)時(shí)間	≤ 2 s 到達(dá) 90 % 設(shè)定值
輸出壓力	0–0.5 MPa（背壓可調(diào)）
氣體種類	N?、Air、H?、Ar、He、O?、CO?、CH? 等（腐蝕性選不銹鋼）
接氣口	1/4″ Swagelok 雙卡套（可選 6 mm 快擰）
密封材質(zhì)	Viton（標(biāo)準(zhǔn)），可選 PTFE、金屬密封
電源·功耗	AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W
通訊接口	RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON）
內(nèi)置屏幕	5 寸彩色觸控，實(shí)時(shí)流量、比例、趨勢曲線
記錄功能	8 GB 閃存，>10 年分鐘數(shù)據(jù)
外形·重量	430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg
安裝方式	19″ 3U 機(jī)架 / 臺(tái)式 / 壁掛

?? 控制模式

定比模式 | 設(shè)定 A/B/C 比例，自動(dòng)平衡總流量。
定流模式 | 總流量固定，改變其中一路比例。
程序模式 | 16 段可編程序，支持斜坡、保持、循環(huán)（適合催化劑升溫評(píng)價(jià)）。
遠(yuǎn)程模式 | Modbus TCP，PLC/工控機(jī)實(shí)時(shí)改寫比例。

?? 典型應(yīng)用

表格

復(fù)制

行業(yè)	混合氣	用途	結(jié)果
半導(dǎo)體	N?/H? (5 %)	退火氣氛	比例波動(dòng) < 0.05 %，提升良率
燃料電池	H?/空氣 (30 %)	單電池測試	背壓 0.4 MPa，穩(wěn)定 200 h
傳感器校準(zhǔn)	CO?/N? (0–2000 ppm)	NDIR 標(biāo)定	線性相關(guān)系數(shù) R2=0.9998
生物發(fā)酵	Air/CO?/O?	溶氧控制	減少鋼瓶數(shù)量 70 %
催化劑	CH?/He (10 %)	升溫還原	程序升溫 16 段自動(dòng)切換

?? 穩(wěn)定性數(shù)據(jù)（實(shí)測）

24 h 漂移 | 比例變化 < 0.03 % F.S.
溫度系數(shù) | < 0.01 % / ℃（-10–50 ℃）
重復(fù)性 | 同一比例 10 次，RSD < 0.05 %

日本 Tokyokeiki（東京計(jì)機(jī)）PMG-1A 是一款高穩(wěn)定性、數(shù)字式、內(nèi)置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體按設(shè)定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續(xù)混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于半導(dǎo)體工藝、燃料電池測試、傳感器校準(zhǔn)、生物發(fā)酵、催化劑評(píng)價(jià) 等需要長時(shí)間穩(wěn)定混合氣的場合。

? 產(chǎn)品定位

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	說明
型號(hào)	PMG-1A（Programmable Mixer Gas）
用途	工藝用混合氣在線配制 / 實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)氣發(fā)生
通道數(shù)	2 或 3 路（可擴(kuò)展至 5 路）
控制方式	數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）+ PID 反饋
特點(diǎn)	±0.1 % 混合比、內(nèi)置觸摸屏、RS-485 / 以太網(wǎng)、無脈沖**

?? 核心規(guī)格

表格

復(fù)制

參數(shù)	規(guī)格
混合比范圍	0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %）
混合精度	±0.1 % F.S.（與 MFC 精度疊加）
輸出流量	10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min）
MFC 精度	±1 % S.P.（可選 ±0.5 %）
響應(yīng)時(shí)間	≤ 2 s 到達(dá) 90 % 設(shè)定值
輸出壓力	0–0.5 MPa（背壓可調(diào)）
氣體種類	N?、Air、H?、Ar、He、O?、CO?、CH? 等（腐蝕性選不銹鋼）
接氣口	1/4″ Swagelok 雙卡套（可選 6 mm 快擰）
密封材質(zhì)	Viton（標(biāo)準(zhǔn)），可選 PTFE、金屬密封
電源·功耗	AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W
通訊接口	RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON）
內(nèi)置屏幕	5 寸彩色觸控，實(shí)時(shí)流量、比例、趨勢曲線
記錄功能	8 GB 閃存，>10 年分鐘數(shù)據(jù)
外形·重量	430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg
安裝方式	19″ 3U 機(jī)架 / 臺(tái)式 / 壁掛

?? 控制模式

定比模式 | 設(shè)定 A/B/C 比例，自動(dòng)平衡總流量。
定流模式 | 總流量固定，改變其中一路比例。
程序模式 | 16 段可編程序，支持斜坡、保持、循環(huán)（適合催化劑升溫評(píng)價(jià)）。
遠(yuǎn)程模式 | Modbus TCP，PLC/工控機(jī)實(shí)時(shí)改寫比例。

?? 典型應(yīng)用

表格

復(fù)制

行業(yè)	混合氣	用途	結(jié)果
半導(dǎo)體	N?/H? (5 %)	退火氣氛	比例波動(dòng) < 0.05 %，提升良率
燃料電池	H?/空氣 (30 %)	單電池測試	背壓 0.4 MPa，穩(wěn)定 200 h
傳感器校準(zhǔn)	CO?/N? (0–2000 ppm)	NDIR 標(biāo)定	線性相關(guān)系數(shù) R2=0.9998
生物發(fā)酵	Air/CO?/O?	溶氧控制	減少鋼瓶數(shù)量 70 %
催化劑	CH?/He (10 %)	升溫還原	程序升溫 16 段自動(dòng)切換